瑞士INFICON真空計技術(shù)參數(shù)

　　企業(yè)背景
 

　　瑞士INFICON集團成立于2000年(前身為Leybold子公司)，是全球真空測量與控制領(lǐng)域的，持有ISO 9001:2015認(rèn)證。其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、航天等領(lǐng)域，客戶包括ASML、NASA等頂級機構(gòu)。2023年財報顯示，其真空計產(chǎn)品線貢獻公司營收的37%。
 

　　核心技術(shù)平臺
 

　　1. 壓阻式真空計（Pirani原理）
 

　　代表型號：PGP-200系列
 

　　量程：1×10??至1000 mbar
 

　　精度：±15%讀數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)型)
 

　　特點：自動溫度補償，兼容腐蝕性氣體
 

　　2. 電容式薄膜真空計
 

　　代表型號：CDG025D
 

　　量程：1×10??至2000 mbar
 

　　長期穩(wěn)定性：<0.15%/年漂移
 

　　技術(shù)：陶瓷傳感器抗顆粒污染
 

　　3. 電離真空計（冷陰極）
 

　　代表型號：IKR270
 

　　極限真空：5×10?¹¹ mbar
 

　　磁場優(yōu)化：永磁體結(jié)構(gòu)降低90%功耗
 

　　技術(shù)突破
 

　　智能診斷：
 

　　內(nèi)置FFT算法實時監(jiān)測傳感器老化(EP3267121)
 

　　多協(xié)議兼容：
 

　　支持DeviceNet、PROFIBUS-DP及Modbus RTU
 

　　材料創(chuàng)新：
 

　　氮化鋁陶瓷基板耐受HF等離子體腐蝕
 

　　行業(yè)解決方案
 

　　半導(dǎo)體：
 

　　蝕刻腔室壓力控制(CDG025D+IKR270組合系統(tǒng))
 

　　醫(yī)療滅菌：
 

　　環(huán)氧乙烷滅菌艙真空監(jiān)測(PGP-216型防爆款)
 

　　航天模擬：
 

　　空間環(huán)境模擬艙級聯(lián)測量(1×10?? mbar超高真空組網(wǎng))