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      赫爾納供應德國microchemicals蝕刻劑

      更新時間:2023-08-10

      訪問量:3688

      廠商性質:經銷商

      生產地址:

      簡要描述:
      赫爾納供應德國microchemicals蝕刻劑25° C 時的蝕刻速率約為每分鐘 0.3-0.4 µm。我們建議在 8-16% (30%) 的存在下執行蝕刻過程。如果不添加過氧化氫,蝕刻速率會顯著降低且不均勻。
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      公司簡介:

      我們的光刻膠、溶劑、蝕刻化學品、晶圓和電鍍電解液的產品范圍外,我們努力在我們的支持下,作為我們產品的用戶,使您在潔凈室中的工作盡可能高效,我們的集裝箱尺寸。

      microchemicals蝕刻劑主要產品:

      microchemicals蝕刻劑

      microchemicals光刻膠

      microchemicals蝕刻劑產品型號:

      TiW etch 200

      TechniEtchCN10

      microchemicals蝕刻劑產品特點:

      清漆:商業酚醛清漆作為遮蔽清漆(例如 AZ ®光致抗蝕劑)

      金屬:蝕金、鉻、鎳;銅

      半導體材料:SiSiO2Si3N4

      低底切(在層厚范圍內),結構分辨率低于1μm

      對許多材料具有選擇性,包括電鍍金屬

      與油漆掩模兼容

      microchemicals蝕刻劑產品應用:

      microchemicals蝕刻劑TiW etch 200是一種鈦鎢蝕刻劑,用于鈦鎢合金層的濕化學結構化,對金、鉑、鎳、鉻等金屬具有選擇性。常見的應用領域可以在半導體和微系統技術的粘合層結構中找到。銅鎳蝕刻液堅硬和耐腐蝕的金屬,在顯微結構中經常被用作基體和成長的金屬層之間的厚度層。作為硅基底和鋁基底之間的分水嶺,它是阻止硅在 Alzur 中滲透的屏障。鋁尖峰是指鋁從中分離出來的硅回到空氣中,由此產生的短路。

      microchemicals蝕刻劑TechniEtchCN10是一種由硝酸和磷酸組成的銅和鎳蝕刻溶液。25° 時的蝕刻速率約為每分鐘 0.3-0.4 µm。我們建議在 8-16% (30%) 的存在下執行蝕刻過程。如果不添加過氧化氫,蝕刻速率會顯著降低且不均勻。microchemicals蝕刻劑蝕刻速率取決于鈦沉積工藝和所得的晶體結構。正電阻、負電阻和反轉電阻在正性抗蝕劑的情況下,曝光區域由于在那里形成茚羧酸而變得可溶于顯影劑。由于正性抗蝕劑不會交聯,超過其軟化點(約 100-130°C)會導致抗蝕劑輪廓變圓。

      microchemicals蝕刻劑AZ ® nLOF 2000 系列或AZ ® 15nXTAZ ® 125nXT等負性抗蝕劑通過后續烘烤步驟(對于AZ ® 125nXT則不需要)在曝光區域中交聯,并保留在曝光區域中。顯影后的基材。microchemicals蝕刻劑室溫下銅的蝕刻速率通常約為 至 3.5 μm/min。只有添加氨來穩定 pH 值,蝕刻溶液才能連續運行(氨會隨著時間的推移而逸出,具體取決于循環條件)。如果不進行跟蹤,蝕刻液會提前耗盡。銅產量為 30 至 50 /升。microchemicals蝕刻劑建議遲在蝕刻速率降低20%或蝕刻時間延長不符合規范時丟棄該溶液。

      microchemicals蝕刻劑Cu etch 200 UBM是一種中性(弱堿性)銅蝕刻劑,用于濕式化學去除銅層,作為電鍍開始,對 NiAuCrSnTi 等金屬具有選擇性。適用于半導體和微系統技術,例如,在電鍍銅后去除起始層以進行凸塊下金屬化 (UBM) 時。40°時的蝕刻速率通常為 10 至 15 nm/minRT 時的蝕刻速率相應較低。在室溫下,約 180 秒即可結構化/去除 30 納米厚的鉻層。microchemicals蝕刻劑蝕刻液穩定,可根據要求多次使用。蝕刻混合物集中于TiTiWTiNCu凸塊柱的連接,以自行混合。microchemicals蝕刻劑TechniEtch™ TBR19 濃縮物與大多數凸塊下金屬化 (UBM) 和銅柱集成材料兼容,例如銅、鋁、鎳、玻璃、有機基板和許多塑料,例如聚丙烯、HDPEPFAKalrez PTFEPEEK 和 PE50℃時的蝕刻速率約為1000A/minmicrochemicals蝕刻劑在高溫下,也能防止油漆輪廓變圓。然而,在高工藝溫度下,熱交程度會增加到濕化學剝離變得困難。

       

       



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